產品詳情
序號 | 項 目 | 說 明 |
| 1 | 極限真空 | 優于4×10-5Pa（新設備） |
| 2 | 漏 率 | 6.7×10-8Pa·L/S |
| 3 | 工作真空 | 5×10-4Pa，從大氣到工作真空時間小于30分鐘（新設備冷態下,連接手套箱） |
| 4 | 系統保壓 | 系統抽到極限后，停泵關機12小時后，系統真空度保持狀態≤2Pa。 |
| 5 | 樣品尺寸 | 130×130mm，放16片25×25mm樣品。（出廠帶二套） |
| 6 | 樣品托尺寸 | 146×146mm。 |
| 7 | 樣品架與源表面距離 | 320mm。 |
| 8 | 樣品架 | 轉速0-30轉/分可調。水冷。 |
| 9 | 蒸發源 | 金屬源×4套，有機源×4套。 （內門，外門下方各放兩只有機源，左右各放兩只金屬源） |
| 10 | 樣品臺升降距離 | 無升降。 |
| 11 | 真空室開腔形式 | 手動前大開門結構 |
| 12 | 膜厚探頭 | 水冷4只，安裝在蒸發源上方。 |
| 13 | 掩膜版庫 | 可選。 |
| 14 | 裝片方式 | 側插方式。 |
| 15 | 鍍膜控制方式 | 速率自動控制，功率控制，溫度控制。 |
| 16 | 抽真空方式 | 自動抽取真空程序控制。 |
| 17 | 膜厚及均一性 | 100nm≤±5%。 |
| 18 | 其他 | 帶防抽爆、自動充氣、帶環境熱偶。 |
公司以誠信、互助、創新和認真為基石。秉承質量就是生命，信任重于泰山的經營理念。誠摯為客戶提供最佳的設計方案、最優良的產品和最滿意的售后服務。
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